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半導體行業常規曝光光源種類
來源:江蘇沃澤光電科技有限公司 | 作者:江蘇沃澤光電科技有限公司 | 發布時間: 2020-08-14 | 1421 次瀏覽 | 分享到:
半導體行業常規曝光光源種類




半導體行業常規曝光光源產品
1） 超高壓短弧汞氙燈（簡稱汞氙燈）是在高壓汞蒸氣中產生放電電弧發光的短弧燈，此燈管具有高紫外線輻射、多線光譜曲線在紫外區有較高的輻射能量的點光源，適用于PCB或LCD全、半自動曝光系統以及半導體光刻等設備。一般用于平行曝光系統。




汞氙燈的基本結構




汞氙燈的光譜特性




WOZE常規曝光用汞氙燈產品


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